13
當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>雷博科學儀器>>工業半導體設備>> DE200顯影機
顯影機
顯影是指用還原劑把軟片或印版上經過曝光形成的潛影顯現出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現出來的同時，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序將顯影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設備。
產品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
全自動顯影擺臂,可實現顯影液、去離子水、氮氣的自動噴灑及吹干
根據工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴
高精度伺服控制系統,性能穩定
升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺
根據工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能
產品參數
旋轉速度范圍：20-5000rpm
加速度范圍：20-20000rpm/s
轉速精度:±1rpm
顯影噴嘴數量：≤3路
顯影工藝配方：≤ 100組(每組≤ 100步)
設備尺寸：1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)
